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质量流量计能自动控制气体流量

        质量流量计可以称之为质量流量控制器,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,能够自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置,是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。对于多数流量测控系统而言,很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。对于普通的流量计,压力及温度的波动将导致较大的误差;对于质量流量计/质量流量控制器,则一般可以忽略不计。
 
       质量流量计/质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示、累积流量自动计量、数据自动记录、计算机管理等。对质量流量控制器而言,还可以实现流量的自动控制。通常,模拟的输入输出信号为0~ +5V或4 ~ 20mA,数字式配有数字串行通讯口,能非常方便地与计算机连接,进行自动控制。质量流量控制器可以精确地控制气体的给定量,这对很多工艺过程的流量控制、对于不同气体的比例控制等特别有用。其适用范围宽,可以从真空直10MPa,适用于多种气体介质(包括一些腐蚀性气体;流量范围宽,最小流量范围可达0~5 sccm, 最大流量范围可达0~200 slm。

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